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首頁 > 技術文章
  • KLA 探針式臺階儀工作原理
    2025-10-22 87
    KLA探針式臺階儀基于"探針接觸掃描+傳感器反饋"技術,通過探針與樣品表面接觸并掃描,結合高精度傳感器實時反饋位移變化,實現納米級至微米級臺階高度、表面形貌及應力的二維/三維測量。以下是其工作原理的詳細解析:核心工作原理:探針接觸與掃描探針設計:采用金剛石材質探針,針尖半徑可細至0.7μm或更小,確保高橫向分辨率。探針以極輕的力(0.03~50mg)接觸樣品表面,避免損傷軟質或脆性材料(如光刻膠、硅晶圓)。掃描方式:通過樣品臺或探針在X-Y平面勻速移動,探針沿表面劃過時,因表...

  • 自動測量光學膜厚儀的主要特點有以下九個
    2025-10-20 27
    自動測量光學膜厚儀的薄膜光譜反射系統,可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及n&k,采用r-θ極坐標移動平臺,可以在幾秒鐘的時間內快速的定位所需測試的點并測試厚度,可隨意選擇一種或極坐標形、或方形、或線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。針對不同的晶圓尺寸,盒對盒系統可以很容易的自動轉換,匹配當前盒子的尺寸。49點的分布圖測量只需耗時約45秒。自動測量光學膜厚儀的主要特點:1、基片折射率和消光系數測量;2、薄膜厚度測量,平均值和標準偏差分析;3、薄膜折射率和消光系數測量;4、...

  • 四探針電阻率測量儀測量方法和注意事項
    2025-10-17 114
    四探針電阻率測量儀是一種用于測量材料表面電阻的儀器,在電子制造行業,特別是在PCB板、纖維布、皮革、塑料等材料的表面電阻測試中,它被廣泛使用。下面我們來了解一下四探針電阻率測量儀的使用方法。首先,我們需要準備一臺四探針電阻率測量儀。然后,確定要測試的材料的表面。確保材料表面干凈,無灰塵、油脂或其他污染物。接下來,將材料放在測試儀的測試平臺上。確保材料與測試平臺之間沒有空氣間隙,以保證測試結果的準確性。然后,根據測試要求,選擇相應的測試方法和測試參數。對于常見的測試方法,有四線...

  • 選購主動式減震系統的幾個注意事項
    2025-10-14 146
    實驗室的工作追求的是性,可是環境振動源的影響很容易成為一個問題,一些實驗可能由于輕微振動的影響而無法獲得的實驗數據。主動式減震系統就是為了解決這一問題產生的,它采用主動或被動的隔振措施隔離振動,提供水平、穩定的臺面。實驗或測量不受振動因素。為了達到理想的效果,減震平臺必須滿足幾個條件。首先,它必須有一個剛性臺面,能夠穩定地固定實驗儀器。其次,它沒有固有共振,而且能夠有效地抑制由實驗中電機或移動部分產生的任何振動,并能夠隔離環境振動對實驗裝置的影響。下面我們來說說選購主動式減震...

  • KLA光學輪廓儀在超薄膜厚度測量中的關鍵應用
    2025-9-19 167
    KLA光學輪廓儀在鈣鈦礦電池到半導體制造的超薄膜厚度測量中,憑借其高精度、非接觸式測量和多功能性,成為關鍵工具,具體應用如下:一、鈣鈦礦太陽能電池中的超薄膜厚度測量TCO層測量:重要性:TCO層是鈣鈦礦太陽能電池的重要組成部分,必須在導電性能良好的情況下具有很高的透光率、低電阻和高熱穩定性。測量實例:使用KLA光學輪廓儀,可以精確測量玻璃上IZO薄膜的厚度,如6.8nm和37.1nm的樣品。ETL層測量:重要性:ETL層在鈣鈦礦太陽能電池中具有收集電子、傳輸電子并阻隔空穴以降...

  • 光學表面輪廓儀是一種用于測量和繪制物體輪廓的裝置
    2025-9-15 117
    光學表面輪廓儀通常由一個激光測距儀和一個移動平臺組成。激光測距儀通過發射激光束并接收返回的激光信號,可以精確地測量物體的距離。移動平臺則用于控制激光測距儀在水平和垂直方向上的移動,從而實現對物體輪廓的全面掃描。在測量過程中,光學表面輪廓儀會將物體的輪廓點云數據采集下來,并通過特定的算法進行處理和分析。這些算法可以將點云數據轉化為三維模型,并進一步提取出物體的尺寸、曲率、角度等信息。利用這些數據,工程師和設計師可以更好地了解物體的結構和形狀,從而進行下一步的設計和制造工作。光學...

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