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光學膜厚測量儀的原理和產品特性介紹
2019-8-27
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光學膜厚測量儀的特點是非接觸,非破壞方式測量，無需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統等。光學薄膜測厚儀是使用可視光測量晶圓、玻璃等基材上形成的氧化膜，氮化膜，光致抗蝕劑等非金屬薄膜厚度的儀器。光學膜厚測量儀測量原理如下：在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進薄膜，然后在膜與底層(晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。光學薄膜測厚儀就是利用這種干涉現象來測量薄膜厚度...
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半導體技術中的薄膜沉積
2019-6-20
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薄膜的沉積，是一連串涉及原子的吸附、吸附原子在表面的擴散及在適當的位置下聚結，以漸漸形成薄膜并成長的過程。薄膜的生成質量以及膜厚檢測在半導體制造中有很高的重要性。半導體技術中薄膜的沉積方式有以下分類：化學氣相沉積（ChemicalVaporDeposition）——CVD反應氣體發生化學反應，并且生成物沉積在晶片表面。物理氣相沉積（PhysicalVaporDeposition）——PVD蒸鍍（Evaporation）利用被蒸鍍物在高溫（近熔點）時，具備飽和蒸汽壓，來沉積薄膜...
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On-line在線薄膜厚度檢測方案
2019-6-20
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簡介優尼康科技有限公司（UNICORNTECHNOLOGYCO.,LTD.）成立于2012年11月，注冊于中國香港，是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。翌穎科技(上海)有限公司主要為半導體、新能源企業和高校及研發中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供的一對一*，技術支持，備件管理和咨詢服務。Filmetrics方案推廣商，具備方案定制，改造升級，本土化維護，與備件庫的方案提供商，是Filmetrics中國區售后服務中心什么是Parylene?聚對二甲（Poly－para－x...
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新應用-種子包衣膜測量 F3膜厚測量儀
2017-6-7
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所謂種子包衣是采取機械或手工方法，按一定比例將含有殺蟲劑、殺菌劑、復合肥料、微量元素、植物生長調節劑、緩釋劑和成膜劑等多種成分的種衣劑均勻包覆在種子表面，形成一層光滑、牢固的藥膜。隨著種子的萌動、發芽、出苗和生長，包衣中的有效成分逐漸被植株根系吸收并傳導到幼苗植株各部位，使種子及幼苗對種子帶菌、土壤帶菌及地下、地上害蟲起到防治作用。藥膜中的微肥可在底肥借力之前充分發揮效力。因此，包衣種子苗期生長旺盛，葉色濃綠，根系發達，植株健壯，從而實現增產增收的目的。針對包衣膜厚的厚度管控...
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消磁器工作原理和性能測評
2016-8-9
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電鏡應用環境改善方案！FEI（上海）張毅張承青關鍵詞:電磁干擾、消磁器、消磁器工作原理和性能測評目錄一．環境電磁干擾二．低頻電磁干擾的改善途徑三．主動式消磁器的基本工作原理及適用范圍四．主動式消磁器性能改進（雙線圈、雙探測器）五．評測主動式消磁器性能的主要指標六．主動式消磁器性能測評一．環境電磁干擾自從人類發現了電磁應用以來，電磁能這種不能直接觀察到的物理現象正在日益深入我們生活的方方面面。電磁力給我們帶來許多便利，大大改善人們的工作和生活環境，但是在造福人類的同時也帶來許多...
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震動隔離系統-防振臺防震臺的使用
2016-8-9
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電鏡和其它精密儀器對環境震動要求很高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動＜12微米.。20Hz以下的低頻震動，對電鏡的干擾影響zui大。如果超過該指標，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。普通掃描電子顯微鏡（SEM）當安置到樓房高層（2層以上），或置于有強震動的場地時（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進行。而必須使用震動隔離系統-防振臺。場發射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對震動...
