改變橢偏儀入射角的方法有兩種
2019-12-25
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自動光譜橢偏儀光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。
橢圓偏振技術是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術。
與反射計或反射光譜技術不同的是，光譜橢偏儀參數Psi和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小，可獲得許多組數據，這樣就非常有助于優化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動調節，一種是自動調節入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。
橢偏儀特點：
1、易于安裝
2、基于視窗結構的軟件，很容易操作
3、的光學設計，以確保能發揮出*的系統性能
4、能夠自動的以0.01度的分辨率改變入射角度
5、高功率的DUV－VIS光源，能夠應用在很寬的波段內
6、基于陣列設計的探測器系統，以確保快速測量
7、多可測量12層薄膜的厚度及折射率
8、能夠用于實時或在線的監控光譜、厚度及折射率等參數
9、系統配備的光學常數數據及數據庫
10、對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用的TFProbe3.0軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型（EMA）測量分析；
11、三種不同水平的用戶控制模式：模式、系統服務模式及初級用戶模式
12、靈活的模式可用于各種*的設置和光學模型測試
13、健全的一鍵按鈕(Turn－key)對于快速和日常的測量提供了很好的解決方案
14、用戶可根據自己的喜好及操作習慣來配置參數的測量
15、系統有著全自動的計算功能及初始化功能
16、無需外部的光學器件，系統從樣品測量信號中，直接就可以對樣品進行的校準
17、可精密的調節高度及傾斜度
18、能夠應用于測量不同厚度、不同類型的基片
19、各種方案及附件可用于諸如平面成像、測量波長擴展、焦斑測量等各種特殊的需求
20、2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數據管理界面。
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